纽卡斯尔大学EEE8125考试难吗？复习重点是什么？

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  课程顾问-小管家 2023-08-30 16:27:53

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  纽卡斯尔大学EEE8125先进设备制造这门课提供了一系列高级电子设备制造的知识，解释了成品率和可靠性的重要性，讨论了电子设备技术的未来发展方向，并且教授了在洁净室制造和测试电子器件的实践经验。以下是我们总结的考试复习重点，希望能帮助你备考。

  1、硅外延：应用、汽相淀积、掺杂和自动掺杂；分子束外延；纳米级表征。

  2、多晶硅沉积：应用、沉积过程和速率、电特性、台阶覆盖、多晶硅的氧化。

  3、氧化：热氧化物和CVD氧化物的用途、干氧化物和湿氧化物的生长和性质、掺杂剂分布、氧化物质量、CVD工艺、掺杂氧化物及其应用、台阶覆盖和平面化；high-k电介质。

  4、金属化：金属化、蒸发和溅射的用途和所需特性，铝、硅化物和金金属化技术，金属化的一般特性。

  5、蚀刻：类型、蚀刻速率、选择性、各向异性、均匀性、案例研究；反应离子蚀刻，工艺监控和终点检测，图案转移问题，缺陷和杂质，深度反应离子蚀刻。

  6、表面污染：颗粒和薄膜、污染源、清洁方法；光刻胶去除。

  

  7、过程监控：结深、电阻率和薄层电阻、霍尔效应、多数载流子迁移率、掺杂分布、电流-电压特性、线宽。

  8、深亚微米光刻：G线，I线，深紫外，分辨率，焦深，相移光刻，电子束光刻，x射线光刻，成本。

  9、互连：对平面工艺的需求、CR延迟、材料系统需求列表、电迁移和可靠性、平均无故障时间。

  10、兴奋剂技术：离子注入、设备、掺杂剂分布、沟道效应、扩散掺杂。掺杂的电学和物理特性。

  11、新材料和技术：新型栅极叠层(金属栅极、high-k电介质、原子层沉积)、新型沟道材料(应变Si/SiGe)、用于高温电子器件的SiC、高级互连(Cu-low k)、纳米技术。

  12、使用洁净室技术制造和测试电子器件。

  如果你能详细分析半导体器件制造中使用的各个处理阶段及其对器件性能和产量的影响，并具备在洁净室制造电子设备的实践经验，同时了解洁净室协议，就应该可以相对轻松地完成考试。此外，你还可以直接联系我们，以获得更有针对性的纽卡斯尔大学考试复习建议。

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