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微纳技术ENG5055

Micro & nano technology

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  • 学术写作班课

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微纳技术ENG5055Micro & nano technology:

课程内容:

本课程将使学生全面了解研究和工业中用于在平面基底上构建复杂微电子和纳米电子结构的制造工艺。学生将能够利用对平面工艺的化学、物理和工程学的理解来预测制造结构的性能,其中包括基础半导体器件的制造实例。

课程目标:

1、向学生介绍微米和纳米制造技术的历史发展和当前的重要性。

2、使学生对微米和纳米制造中使用的关键工业流程以及这些流程所依据的物理原理有清晰的定性、定量和实际理解。

3、培养学生在制造实用微电子器件时预测多种制造工艺结果的能力,以及测量、分析和优化制造流程的能力。

学习成果:

通过本课程的学习,学生将能够:

1、认识硅集成电路制造的历史意义;

2、解释关键制造技术(包括光刻、氧化、外延、化学机械抛光、金属化、扩散、离子注入、干蚀刻)的物理和化学过程;

3、对比光学和其他光刻系统,说明正负阻抗的使用情况;

4、使用标准的CAD工具设计光刻掩模;

5、计算氧化、外延、扩散、植入和蚀刻的加工参数,以分析预测这些加工的结果;

6、回顾干蚀刻的使用和方法;

7、说明如何将各种工艺结合起来制造设备,并对两层或三层结构的制造工艺进行分类;

8、为一系列结构和器件(不限于MOSFET)设计简单的工艺流程;

9、总结与洁净室制造相关的健康和安全方面的问题;

10、对微观结构进行电气测量,并根据测量结果评估器件质量;

11、根据显微照片和电气测量结果诊断加工问题,并向有经验的从业人员有效介绍结论;

12、解释优化制造工艺的实验设计原则;

13、能在充分了解技术实用性的基础上,判断微米和纳米加工在当前和不久的将来对经济、环境和社会的影响。

OUR COACHING PROCESS

我们的辅导流程

01

评估评测

提交辅导需求发送学习资料,教学部评估学习情况;

02

匹配老师

教学部精准匹配授课老师,提供老师背景等资料;

03

建群定方案

vip学习群,规划老师+督导老师+学管老师,1V3辅导;

04

排课授课

教学部排课,老师一对一辅导授课,高效课堂有保障;

05

答疑反馈

学管课堂反馈,课堂答疑+课件回放+笔记随时复习;

  • 评估评测确认需求

    同学提交辅导需求并发送相关学习资料(课件大纲资料等),教学部评估基础学习情况;

  • 匹配老师初步沟通

    教学部精准匹配授课老师,提供老师背景等资料;

  • 建学习群定辅导计划

    专属vip学习群,规划老师+督导老师+学管老师,1V3共同制定学习计划;

  • 预约排课导师授课

    教学部安排详细上课时间,老师一对一辅导授课,高效课堂有保障;

  • 答疑解惑课堂反馈

    督导学管老师随时反馈学习情况,课堂答疑,提供课件回放+笔记随时复习复盘。

TP 100 EXCELLENT TEACHERS

TOP100优秀师资

  • Johna
  • Johna
  • 教育背景:
  • 加州大学伯克利分校 机械工程 硕士
    加州大学伯克利分校 机械工程 学士
  • Durante
  • Durante
  • 教育背景:
  • 康奈尔大学 物理学 博士
  • Angelia
  • Angelia
  • 教育背景:
  • 伦敦大学学院 历史学 硕士
    上海外国语⼤学 英美社会⽂化 硕士
  • 郭老师
  • 郭老师
  • 教育背景:
  • 浙江农林大学风景园林学士
    墨尔本大学景观建筑硕士

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